工具金相显微镜FH3020U
工具金相显微镜是具有电子数字成像与目视系统,兼具影像坐标测量与显微观察功能的测量型金相显微镜。该仪器广泛应用于半导体,FPD面板,电子组件,电路封装,电路基板,精密刀具,PCB加工等方面。不仅应用于长度、角度等二维测量,亦可用于ITO、ACF导电粒子形状和瑕疵观察。是机械、电子、科研院所及计量实验室不可或缺的计量检测设备之一。
仪器型号/ 仪器参数 |
FH3020U |
测量行程(mm)* |
300X200X150 |
外形尺寸(mm) |
750X640X900 |
仪器重量(kg) |
200 |
承载重量(kg) |
30 |
测量精度 |
X/Y≤(2.5+L/200)µm |
L为被测物长度,单位为mm |
导轨 |
P级精密V型交叉导轨 |
光栅尺** |
0.5µm光栅尺 |
控制方式 |
X/Y轴手动控制,Z轴电动控制 |
图像传感器 |
高清晰、高分辨率彩色工业数字摄像机 |
光源 |
透射光 |
LED平行冷光源,256级亮度可调 |
反射光 |
卤素灯/LED照明器可选 |
目镜 |
三目镜筒 |
光学物镜*** |
手动物镜转换器:5X 10X 20X 50X 100X(倍率可选) |
适用电源 |
100-240V(AC) 50/60Hz |
工作环境 |
温度22±2℃ 湿度30%-80% 振动<0.002g,低于15Hz |
备注
* Z轴标配测量行程为150mm,特殊需求可定制
** 标配为0.5µm光栅尺,可选配0.1µm光栅尺
*** 可选配自动变倍物镜转换器
仪器特点
各型号量程仪器支持定制开发
高精度花岗岩底座、立柱,确保机构有极高的稳定性及精度
高精度、高分辨率光栅尺
高解析度、高分辨率工业专用彩色CCD,确保拥有高质量的测量画面
Z轴电动手脉控制
可实现高度辅助测量
可扩展选配DIC微分干涉模块
可扩展选配光谱共焦白光测量模块